隨著現在工業行業的擴大,機械化設備越來越多,而大型機械的檢測和維修一旦開展起來特別麻煩,比如：大型機械檢測零部件的問題。

顯微鏡在機械設備的維修檢測方面應用甚廣。

金相分析是觀察金屬零部件材料內部結構以及檢測缺陷的主要方法之一，通過金相顯微鏡放大100-1500倍觀察制備后的樣品，可以研究金屬及合金的組織以及與化學成分的關系，明確割裂合金材料在經過不同加工以及熱處理后的顯微組織，從而判別金屬材料的質量高低。

掃描超聲顯微鏡方法是分析材料多層結構分布的最重要的無損檢測方法，可以很好地探測出空洞、分層和水平裂紋，而光學顯微鏡屬于破壞性檢驗。

超聲波顯微鏡（SAM）具有良好的穿透性、反射性，可以穿透不透明工件及二種聲阻抗之間形成反射波，可以無損精密的觀察材料內部結構三維圖像。它是以現代微波聲學、硬件信號處理和計算機軟件為基礎的新型聲學設備。

而超聲波掃描顯微鏡能夠**的反映出材料聲波和微小的彈性介質之間的相互作用，并對從材料內部反饋聲阻抗的信號進行分析，顯示于圖像上，每一個像素點對應著材料內某一特定深度的一個二維空間坐標點上的信號反饋，反射回來的超聲波信號調理后送出檢波或射頻，這樣*可以用信號傳輸的時間反映出材料的深度，一副完整的圖像逐行逐列的掃描材料完成。